Μέτρηση πάχους επικάλυψης ηλεκτροδίων
Απαιτήσεις μέτρησης
Σάρωση μιας γραμμής για τη μέτρηση της διαφοράς μεταξύ της επιφάνειας βάσης και της επικάλυψης, δηλαδή του πάχους της επικάλυψης
Επισκόπηση των κύριων χαρακτηριστικών
Μη επαφή μέτρηση, ολοκληρωμένο σχεδιασμό
2. ευρύ φάσμα εφαρμογής, εύκολη αποσυναρμολόγηση
Εγγυημένη επαναληπτική ακρίβεια ±0,5 έως ±1μm
4. γραμμή σάρωσης, η ταχύτητα μπορεί να φτάσει 50mm / s, βελτιώνοντας σημαντικά την ταχύτητα ανίχνευσης
5.Offline ανίχνευση, αποθήκευση δεδομένων πάχους, σχηματισμός των βασικών δεδομένων διαχείρισης στατιστικών / ανάλυσης
6. πλούσια λειτουργία συναγερμού, OK, NG συμβουλές, παρακολούθηση όλης της διαδικασίας μέτρησης, ποιοτικός έλεγχος, αύξηση της αποδοτικότητας

Αποτελέσματα μέτρησης
Πάχος επίστρωσης περίπου 18μm±1μm
Επίλυση προβλημάτων με τη συσκευή μέτρησης στο παρόν στάδιο
Υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις για το υλικό μέτρησης
2. μέτρηση επαφής, βλάβη στο υλικό μέτρησης
Μικρό εύρος μέτρησης, αβέβαιη θέση, δυσκολία μέτρησης
Αργή ταχύτητα μέτρησης, χαμηλή ακρίβεια και μεγάλο σφάλμα μέτρησης
5. περίπλοκη δομή, υψηλό κόστος
